電子無塵車間工程設計要求

電子無塵車間工程的設計，以芯片生產(chǎn)車間、集成電路無塵車間和磁盤制造車間為代表的電子工業(yè)工程無塵室（區(qū)）除了對微粒的嚴格控制外，還對溫濕度的控制、照度（甚至光源要求）微震等要求更嚴格，消除靜電對生產(chǎn)產(chǎn)品的影響，從而使環(huán)境達到電子產(chǎn)品在潔凈環(huán)境的生產(chǎn)工藝要求。

潔凈室（區(qū)）的溫、濕度應根據(jù)生產(chǎn)工藝要求確定當生產(chǎn)工藝無具體要求時，其溫度可按20~26℃，相對濕度30%~70%采用。人員凈化用室和生活用室的溫度可按16~28℃采用。根據(jù)與**ISO標注接軌的中國**標準GB-50073，這類潔凈室（區(qū)）的潔凈度等級1-9級，其中1-5級，氣流流型為單向流或混合流，風速0.2-0.45m/s；6級氣流流型為非單向流，換氣次數(shù)50-60次/h；7級氣流流型為非單向流，換氣次數(shù)15-25次/h；8-9級氣流流型為非單向流，換氣次數(shù)10-15次/h。

根據(jù)現(xiàn)行規(guī)范，電子制造廠萬級潔凈室內(nèi)的噪聲級（空態(tài)）：不應大于65dB(A)

1.電子制造廠潔凈室垂直流潔凈室滿布比不應小于60%，水平單向流潔凈室不應小于40%，否則就是局部單向流了。

2.電子制造廠潔凈室與室外的靜壓差不應小于10Pa，不同空氣潔凈度的潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的靜壓差不應小于5Pa。

3.電子制造行業(yè)萬級潔凈室內(nèi)的新鮮空氣量應取下列二項中的**大值。

4.補償室內(nèi)排風量和保持室內(nèi)正壓值所需的新鮮空氣量之和。

5.保障供給潔凈室內(nèi)每人每小時的新鮮空氣量不小于40㎡。